供應商：深圳市藍星宇電子科技有限公司

美國 Harrick PDC-32G-2 基本型等離子清洗機，該產品能處理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金屬半導體、陶瓷、復合材料、高分子聚合物等材料，并對所處理的材料表面帶來表面超潔凈、殺菌、提高濕潤性轉變、表面性質改變、提高結合力等處理效果。

供應商：華儀行（北京）科技有限公司

CIF等離子清洗機不僅外觀設計美觀、而且內在質量過硬，產品性能穩定可靠，主要核心部件全部采用國際知名品牌。

供應商：旭阿科技（上海）有限公司

發生器頻率可調，1、 等離子蝕刻 (中性主導) 2、 鋁制腔體140*200*110mm（W*D*H） 3、 等離子發生器20~100KHz,功率 100W可調 4、 流量控制器(最大100sccm，最多3個通道)

供應商：上海爾迪儀器科技有限公司

10.5升的LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ATTO 為手動型，配有 PC 和 PCCE 控制系統，主要用于以下領域：小批量生產，分析 (REM, TEM)，YL技術，滅菌，研究和開發部門，考古，紡織技術，塑料技術。

供應商：香港電子器材有限公司

PVA是歷史悠久的德國高科技上市公司，在等離子體、真空系統、晶體生長等領域占據世界領xian地位；PVA TePla是PVA的一個部門，專業制造等離子清洗機，廣泛應用于電子，塑料，橡膠，玻璃等各種材料清洗及表面處理。作為生產等離子體處理設備的專家，PVA TePla可為半導體行來提供等離子體清洗設備和服務。GIGA 690微波等離子系統芯片載體清洗

供應商：華儀行（北京）科技有限公司

CIF等離子清洗機不僅外觀設計美觀、而且內在質量過硬，產品性能穩定可靠，主要核心部件全部采用國際知名品牌。

供應商：華儀行（北京）科技有限公司

CIF等離子清洗機不僅外觀設計美觀、而且內在質量過硬，產品性能穩定可靠，主要核心部件全部采用國際知名品牌。

供應商：華儀行（北京）科技有限公司

CIF推出的CPC系列生產型等離子清洗機是為研發型客戶和工業級客戶而設計的等離子體表面處理設備，配置豐富，且真空腔體里可分層，適合大多數生產場景。適用于等離子清洗，活化以及刻蝕等多種應用，設備可在嚴苛環境下穩定運行，產品穩定，樣品處理重復性一致性好。

供應商：華儀行（北京）科技有限公司

?智能化控制，手動、自動兩種工作模式。 ?自動匹配器。 ?美國Honeywell真空壓力傳感器。 ?美國德威爾（Dwyer）氣體浮子流量計。 ?雙路氣體控制。 ?弧形電極板設計。 ?全系統不銹鋼材質。 ?數字和浮子流量計可選。 ?免維護，無需任何耗材。 ?整機保修一年。

供應商：沈陽科晶自動化設備有限公司

PCE-6V小型等離子清洗機集成了RF等離子體發生技術、計算機控制技術、軟件編程技術，采用氣體作為清洗介質，有效地避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵，清洗腔內的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，可短時間內徹底清洗掉有機污染物，清洗程度可達到分子級。另外，其樣品臺可選配加熱功能，可加負偏壓，用以實現離子蝕刻。此外，其可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。主要特點1、采用氣體作為清洗介質，避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。2、可短時間內徹底清洗掉有機污染物。3

供應商：沈陽科晶自動化設備有限公司

PCE-8等離子清洗機是一款較大型的等離子清洗機，等離子腔體為Φ8.5"×12"的石英腔體，采用的射頻電源功率0-100W連續可調節。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。主要特點1、采用6″彩色觸摸屏，可控制射頻功率、清洗時間、氣體流量、真空泵的開啟等。2、內部配有0-500mm/min的質量流量計，可以精確地控制進氣流量。技術參數1、電源：AC220V2、射頻功率：最大10

供應商：華儀行（北京）科技有限公司

CIF專為處理粉體如粉狀、顆粒狀材料樣品而設計的粉體專用等離子清洗機，可以高效率地處理微細的甚至分子級別的超細粉體材料，改變傳統真空等離子清洗機無法處理粉體樣品的問題。

供應商：華儀行（北京）科技有限公司

CIF等離子清洗機不僅外觀設計美觀、而且內在質量過硬，產品性能穩定可靠，主要核心部件全部采用國際知名品牌。智能化控制，手動、自動兩種工作模式。?美國Honeywell真空壓力傳感器。美國德威爾（Dwyer）氣體浮子流量計，雙路氣體控制，弧形電極板設計。 全系統不銹鋼材質，數字和浮子流量計可選，免維護，無需任何耗材，整機保修一年。

供應商：沈陽科晶自動化設備有限公司

PCE-3等離子清洗機使用空氣、氧氣、氬氣等離子去除納米級有機物污染，在射頻電源的作用下，最大去除速率為10nm/min。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進行預處理，將對生長具有顯著的作用。主要特點1、使用可調射頻電源，可以設置低、中、高功率。2、桌上型設備，結構緊湊、操作安全、環境友好、低成本。技術參數1、輸入電壓：110V/220V、50Hz/60Hz （請提前選定），小于100W2、輸出功率：13.56MHz 3、等離子直流電源：低功率設定680V，10mA，6.8W；中功率設定700V，15mA，1

供應商：上海爾迪儀器科技有限公司

德國Diener electronic成立于1993年，是世界低溫等離子工業的，是一家專門研發和制造低溫低壓等離子清洗機、等離子射頻電源和大氣（常壓）等離子清洗機的高科技企業。 用途： Diener等離子清洗機可用于清洗、刻蝕、磨砂和表面準備等?？蛇x擇40KHz、13.56MHz和2.45GHz三種射頻發生器，以適應不同的清洗效率和清洗效果需要。 Diener等離子清洗/刻蝕機具有成本低廉、操作靈活的特點，主要適合于高科技生產單位的以下場合： 半導體開發、集成電路開發、真空電子行業、生命科學實驗等等。 D

供應商：上海爾迪儀器科技有限公司

Diener,PlasmBeam,PlasmBeam PC,PlasmBeam大氣壓等離子清洗機 PlasmBeamPlasmBeam PCPlasmBeam DUOApplications: Rubber Electronic PlasticsCables-Tules效果：PlasmaBeam清洗過的區域，噴水后沒有殘留水滴。更多應用請來電咨詢：021-61552797底材：鋁底材：塑料參數：型號PlasmBeamPlasmBeam PCPlasmBeam DUO發生器頻率與功率20kHz,300W20

供應商：上海爾迪儀器科技有限公司

2.6 升的LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ZEPTO 為手動型，配有 PC 和 PCCE 控制系統，主要用于以下領域：小批量生產分析 (REM, TEM)醫療技術滅菌研究和開發部門考古紡織技術塑料技術系列Zepto控制系統手動型PCCE 控制系統 (Microsoft Windows CE)PC 控制系統 (Microsoft Windows POS Ready 2009)體積1.7~2.6L真空腔室圓形石英玻璃 (UHP)，配有蓋子（大約Φ 105 mm, 長 200 mm 或

供應商：深圳市藍星宇電子科技有限公司

德國 PVA TePla 等離子清洗機PlasmaPen 常壓等離子，通過清潔和活化材料表面來改善灌封化合物、粘合劑、油墨、涂料和染料等的浸潤性。PlasmaPen?清潔后的表面保證了半導體封裝工藝中打線和芯片鍵合的可靠性。它已經成功地應用于平板顯示制造業中提高異方性導電膠膜（ACF）的粘合性。

供應商：沈陽科晶自動化設備有限公司

PCE-3等離子清洗機的等離子腔體為?75mm×165mm的耐熱玻璃腔體，輸出功率6.8W、10.5W、18W三檔可調。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備，在射頻電源的作用下，去除速率可達10nm/min。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進行預處理，將對生長具有顯著的作用。PCE-3等離子清洗機配有一個真空泵，可對腔體進行抽真空，同時通入氬氣等保護氣體，適用于對易氧化的物品

供應商：沈陽科晶自動化設備有限公司

EC-200是一款ZD功率可達2KW的電暈處理機，ZD處理寬度可達200mm，主要用于前級處理各種流延膜基材，本機放電電極采用陶瓷輥，除PE、PP、PEO等一般的塑料箔材外，也可用于銅箔鋁箔等導電金屬材質箔材的處理。設備運行時，利用高頻率高電壓在電極間產生電暈放電，并產生低溫等離子體，對箔材表面進行極化改性，可用于材料改性、接枝、流延鍍膜、油墨印刷等實驗工藝中，提高基材表面粘附力，改善涂布質量。 產品名稱 EC-200電暈處理機 產品型號 EC-200 主要參數

供應商：沈陽科晶自動化設備有限公司

轉瓶等離子清洗機，專為處理顆粒、粉末樣品而設計。在等離子體作用下，一些材料很容易發生斷鍵和聚合，轉瓶等離子清洗機可以高效率的處理微細的甚至分子級別的超細粉末材料，改變了傳統真空等離子清洗機無法處理顆粒、粉末樣品的問題。該機同樣也可以處理非粉末的樣品，實現了一機多用的功能。1、石英腔體可以以一定得速度旋轉 2、可以對粉末樣品進行等離子清洗 3、可以對塊狀或片狀樣品進行等離子清洗 產品名稱 轉瓶等離子清洗機 應用領域 樣品表面清潔、活化、鍵合、去膠、金屬還原、簡單刻蝕、表面有機物

供應商：沈陽科晶自動化設備有限公司

GSL-1100X-PJF-(A)等離子表面處理儀是一種緊湊的大氣離子表面處理噴射系統，主要由射頻發生器、離子束頭組成，噴射的離子束流能在較低的溫度和非真空條件下活化和清理材料表面（例如單晶片、光學元件、塑料等），且清理速度迅速，清理后的物品表面干凈。使材料進行預先表面處理，為獲得高質量的外延薄膜或使光學涂層得到顯著的效果做準備工作。GSL-1100X-PJF-(A)等離子表面處理儀手持部分小巧輕便，便于戶外使用進行攜帶。操作簡單，且可隨意控制清理被清理材料的任意位置。1、不需要真空環境，不需要腔室環

供應商：沈陽科晶自動化設備有限公司

GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀是一款緊湊的大氣離子表面處理噴射系統，主要由射頻發生器、離子束頭組成。噴射的離子束流能在較低的溫度和沒有真空條件的環境下活化和清理材料（如單晶片、光學元件、塑料等）表面雜質，且清理速度迅速。本機是為獲得高質量的外延薄膜或光學涂層進行預先表面處理的合適的工具選擇。GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀具有一個樣品臺，將樣品固定在樣品臺上后可進行X、Y、Z三個方向上一定范圍內的連續移動清洗，且清洗過程中離子束不會發生抖動，清理后的樣品表面質量均勻。1、

供應商：沈陽科晶自動化設備有限公司

PCE-8等離子清洗機是一款較大型的等離子清洗機，等離子腔體為 ?8.5"×12"的石英腔體，采用的射頻電源功率0- 100W連續可調節，采用的射頻為13.56MHz。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進行預處理，將對生長具有顯著的作用。PCE-8等離子清洗機配有一個直連式雙旋真空泵，可對腔體進行抽真空，同時通入氬氣等保護氣體，適用于對易氧

供應商：沈陽科晶自動化設備有限公司

PCE-6V小型等離子清洗機集成了RF等離子體發生技術、計算機控制技術、軟件編程技術，采用氣體作為清洗介質，有效地避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵，清洗腔內的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，可短時間內徹底清洗掉有機污染物，清洗程度可達到分子級。PCE-6V小型等離子清洗機的樣品臺可選配加熱功能，可加負偏壓，用以實現對樣品的離子蝕刻。此外，其可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。設備體積小，操作簡單，應用廣泛。1、采用氣體作為清洗介質，避免了因液體清洗介質對被清

供應商：沈陽科晶自動化設備有限公司

PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 ?160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率為3.0MHz（1%），輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。PCE-6小型等離子清洗機體積小，占用的空間少，可有效節約實驗室空間。PCE-6小型等離子清洗機配有一個雙旋真空泵，可對腔體進行抽真空，同時通入氬氣等氣體，適用于對易氧

供應商：上海爾迪儀器科技有限公司

Pico 等離子設備能夠以不同的形式進行整合，例如以模塊系統的形式。在下文中您可以大致了解能夠與 Pico 等離子系統一同使用的最常見的選裝件。Pico 等離子系統主要應用于以下領域：小批量生產分析 (REM, TEM)醫療技術滅菌研究和開發部門考古紡織技術塑料技術規格，參數：系列Pico系列控制系統半自動型PCCE 控制系統 (MicrosoftWindows CE)PC 控制系統 (Microsoft Windows POS Ready 2009)體積4~15L真空腔室圓形不銹鋼件，配有蓋子（大約Φ

供應商：上海爾迪儀器科技有限公司

品牌概述20多年來Pink在真空技術領域以其優良的品質和精密性而著稱?，F今，PINK共有250位雇員為五大洲的客戶提供先進的設備和系統。PINK分為兩個事業部：PINK GmbH Vakuumtechnik 特殊真空部件和定制系統PINK GmbH Thermosysteme 為表面處理而設計的低壓等離子體系統以及真空熱處理系統應用領域智能卡電子工業玻璃光學器件金屬工業微電子珠寶和手表業產品特點1. 先進微波技術2. 無電極等離子發生器和高密度自由基使料盒內部清洗處理達到高度一致性3. 定制等離子反應

供應商：上海爾迪儀器科技有限公司

10.5升的LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ATTO 為手動型，配有 PC 和 PCCE 控制系統，主要用于以下領域：小批量生產，分析 (REM, TEM)，YL技術，滅菌，研究和開發部門，考古，紡織技術，塑料技術。

供應商：上海爾迪儀器科技有限公司

品牌概述20多年來Pink在真空技術領域以其優良的品質和精密性而著稱?，F今，PINK共有250位雇員為五大洲的客戶提供先進的設備和系統。PINK分為兩個事業部：PINK GmbH Vakuumtechnik  特殊真空部件和定制系統PINK GmbH Thermosysteme  為表面處理而設計的低壓等離子體系統以及真空熱處理系統應用領域智能卡電子工業玻璃光學器件金屬工業微電子珠寶和手表業產品特點1. 先進微波技術2. 無電極等離子發生器和高密度自由基使料盒內部清洗處理達到高度一致性

供應商：沈陽科晶自動化設備有限公司

GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀是一款緊湊的大氣離子表面處理噴射系統，主要由射頻發生器、離子束頭組成。噴射的離子束流能在較低的溫度和沒有真空條件的環境下，迅速活化和清理材料（如單晶片、光學元件、塑料等）表面雜質。本機是為獲得高質量的外延薄膜或光學涂層，預先進行表面處理的**選擇。主要特點1、高速處理物件表面，操作簡單、安全。2、無需真空和腔室環境。3、小巧實用、成本低。4、重量輕、結構緊湊。5、已通過CE認證。技術參數1、電源：110/220V 50/60Hz <100W2、輸出頻率：

供應商：沈陽科晶自動化設備有限公司

GSL1100X-PJF等離子表面處理儀是一種緊湊的大氣離子表面處理噴射系統，主要由射頻發生器、離子束頭組成，噴射的離子束流能在較低的溫度和非真空條件下迅速活化和清理材料表面（例如單晶片、光學元件、塑料等），使預先進行表面處理為獲得高質量的外延薄膜或光學涂層得到顯著的效果。主要特點1、不需要真空環境，不需要腔室環境，高速處理物件表面。2、采用手提式，可現場使用，且成本低。3、結構緊湊，重量輕。4、操作簡單，安全可靠。5、以通過CE 認證。技術參數1、輸入電源：110V/220V 50/60Hz <1

供應商：華儀行（北京）科技有限公司

CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機采用遠程、原位雙等離子清洗源設計，并可自動切換，一機多用。遠程等離子體清洗快速GX低轟擊損傷，同時可實現常規等離子清洗。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內碳氫化合物的清洗。

供應商：華儀行（北京）科技有限公司

CIF專為處理粉體如粉狀、顆粒狀材料樣品而設計的粉體專用等離子清洗機，可以GX率地處理微細的甚至分子級別的超細粉體材料，改變傳統真空等離子清洗機無法處理粉體樣品的問題。

供應商：上海爾迪儀器科技有限公司

piezobrush?PZ3高效便攜式手持等離子體發生器piezobrush? PZ3 是一款小體積緊湊型手持等離子體發生器，適用于實驗室開發以及小批量產品的研發和組裝加工。piezobrush? PZ3的最大功耗為18瓦，憑借壓電直接放電技術（Piezoelectric Direct Discharge Technology – PDD技術?）可以產生溫度低于50攝氏度的冷活性等離子體。PZ3的核心部件是來自TDK電子集團的CeraPlas?，用來產生常壓冷活性等離子體

供應商：上海爾迪儀器科技有限公司

特點： ·適用于8”以下樣品的處理 ·等離子蝕刻機，可實現快速且一致的樣品表面刻蝕 ·全局的工藝氣體通過氣浴進氣實現了均勻的氣體分布 ·電極水冷確保了樣品的溫度不會偏高 ·工業Windows控制系統，多段程序控制功能，實現一鍵蝕刻功能 ·適合于研究院、高校、研發等使用，也可小批量生產